反射式膜厚仪/光谱椭偏仪

反射式膜厚仪/光谱椭偏仪

利用光学干涉原理,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

  • SE-RD-STD光谱椭偏仪

    SE-RD-STD光谱椭偏仪

    设备针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度、快速摄谱型光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件。SE-RD-STD 拥有强大的材料数据库,极其容易建立或更改一个测量 Recipe。只需按照名称选取材料,就能够更改基底、环境和膜层的光学常数。

  • SR-RD-STD反射式膜厚仪

    SR-RD-STD反射式膜厚仪

    利用光学干涉原理,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

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