扫描电子显微镜
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反射式膜厚仪/光谱椭偏仪
自动聚焦激光显微镜
半导体行业解决方案
ULVAC-PHI 扫描聚焦X射线光电子能谱仪PHI Quantera II
基于PHI公司专利技术的扫描聚焦X射线源,最新一代技术可对从最 小7.5um到最大1.4mm的分析区域获得高灵敏度的分析结果。设备采用全自动化分析,可以轻松地对绝缘样品和半导体等样品达到自动中和效果。
ULVAC-PHI 扫描俄歇纳米探针 PHI 710
PHI 710使用CMA同轴分析器,同时实现高灵敏度和高传输率,即便在低电流高空间分辨率情况下都可轻松对应。拥有CMA所有优点同时,结合获得AVS设计奖的高能量分辨率功能,AES可以进行各种纳米级区域化学态分析。
ULVAC-PHI 飞行时间型二次离子质谱仪PHI nano TOF II TRIFT 系列
三次聚焦分析仪适用于平面,不平整以及表面形貌复杂的样品,多种溅射离子枪实现三维成像的深度分析,SmartSoft-TOF软件使得样品分析操作更简单容易,并具有双束电荷中和(专利)。
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